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　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　超高気密ヒータ　ＡＴＨタイプにジャンプ
　　　

ＣＬＨ type　 塵やガスの放出を極限まで排除したヒータです。半導体製造等のクリーンルームでの御使用に適しています。 発熱体もセンサーも電線も被加熱流体に直接接触しないため、水蒸気や多少の腐食性ガスの加熱にも使えます。 他の方式に比べ、低コストで汎用性が高く高信頼性です。
	φ19金属ケース入製品の一例。
	発熱体や温度センサーは内側の石英管内に密閉封入されています。 エアーはこの内側石英管と外側石英管の隙間を通ることにより間接的に加熱されます。

**	−注意− 　 ＣＬＨタイプは通常のヒータ（ＳＡＨタイプ）に比べると非常にタフですが、金属ケース（ステンレス製）や石英ガラス，耐熱ゴム(バイトン，シリコン)などが耐える程度のご使用条件に限ります。 　 塵などの発生原因を無くしたクリーン構造ですが、ご使用前に清浄な空気等で十分に通電フラッシング（通電加熱しながらクリーンエアー等を流して塵の発生が無くなるまで加熱通風洗浄）してください。 　 このヒータは塵等の発生原因を構造的に排除しているだけであり、ヒーターの製造は通常のヒーター製造工程です。従って初期状態は汚れがあると思ってください。そのまま即クリーンルームで稼働できる状態ではありません。 　 発塵量に関する具体的保証数値は提示できません。 　 窒素ガス，不活性ガス（アルゴンガス等）の加熱は全く問題ありません。 　 ヒータ内に残留しやすい物質を含む様な流体の加熱には適しません。（熱風ヒータ全般） 　 38PH，45ＰＨ以外のサイズ（太さ）のヒータは、熱風出口側の金具（ネジ）は標準では接着や溶接をしません。従って圧力のかかる使い方ではネジ部から多少漏れます。ネジ部に接着剤を付ければ、かなり漏れを防げますが完全ではありません。また接着剤は厳密には塵の発生源になります。そのため圧力が加わる用途で漏れが問題になる場合はＴｉｇ溶接が望ましいです。この部分は完成品でもＴｉｇ溶接が可能ですので、ユーザーサイドで行っていただいてかまいません。もし予め溶接したものをご要望の場合は、ご注文時に指定してください（有償）。
	ＣＬＨ type　　　　　   分類(加熱管径)   パワーレンジ   金属ケース      備考   CLH-10シリーズ   100wクラス   150ｗクラス  φ13×L113  φ13×L153 技術資料付   CLH-15シリーズ   250ｗクラス  φ19×L168 技術資料付   CLH-29シリーズ   1000wクラス  φ34×L300  CLH-38(N)シリーズ 　高純度、高気密改良型   1500wクラス   3000wクラス  φ43×L410  φ43×L650 別ページにリンク    CLH-38シリーズ   1500wクラス   3000wクラス  φ43×L385  φ43×L550 技術資料付   CLH-45シリーズ   3000wクラス 　4000wクラス  φ50×L550  φ50×L680 技術資料付 低圧損タイプ 250L/min.で1kPa以下   CLH-30×6シリーズ   3000wクラス 　6000wクラス  　　12kwクラス　   φ102×L310  φ102×L430  φ102×L680  29シリーズの発熱体を６本束ねたもの。 　CLH-38×6シリーズ   12 kwクラス  φ140×L500 38シリーズの発熱体を６本束ねたもの。   CLHタイプの各種資料 　 　 ＣＡＤ図面(dwg.)　ダウンロード 　 　　　　 CLH220v-1.8kw/38PH/(R3/8-R3/4) CLH□v-1.5〜4kw/38PH/IN-OUT CLH200v-4kw/45PH/低圧損 CLH200v-3〜4kw/45PH/低圧損 CLH380v-12kw/30×6PH/R1-R1/+2S CLH□ｖ-□w/30×6PH/Ｌ□/M98F-M98F　 CLH200v-1.5k/38PH/(R1/2-R1/2)ノンシリコン CLH200v-1kw/29PH/G□F-G□F/+Ｓ CLH220v-12kw/30×6PH/R1-R1/+2S CLH380v-6kw/30×6ＰＨ/(Rc3/4-Rc3/4)+2S CLH100v-250w/15PH/(Rc1/8-Φ9）特 　 他のファイル型式が必要な場合はご相談ください。→ａｓａｄａ＠ｆｉｎｔｅｃｈ.ｃｏ.ｊｐ
	CLH is a heater without the discharges of dust and an impure gas, etc. 　CLH is used in the semiconductor manufacturing process etc. 　CLH is possible to use it to heat steam etc. because neither the heat 　source, the sensor nor the electric wire come in contact with the fluid. 　 　　　　　関連情報　　　右上段メニュ，左メニュもご参照ください。 *　　　　　　項　目  Ｇｏ 　　　　　　　　　備　考 熱風ヒータの概要，取扱説明 熱風ヒータの使い方の詳細があります 熱風加熱のビデオ ハンダを溶かす実験や木材を焼切る実験ビデオ 熱風ヒータの特性 熱風ヒータの電圧-流量-熱風温度-エア圧力特性など 熱風ヒータ専用コントローラ 熱風ヒータを制御して目的の温度，流量の熱風を得る装置 エアー源について 各種エアー源の紹介。コンプレッサ，電磁ポンプ，ロータリブロア等 熱電対による温度測定 測定方法の詳細と代表的な熱電対であるＫ、Ｒ熱電対のデータ　 熱風ヒータの計算方法 計算によりヒータの必要電力、熱風温度、必要流量等を算出 　　　 　 温度センサーの寿命について 　 温度センサーの寿命ですが、ＣＬＨヒータの構造上、発熱体温度とほぼ同じ温度まで温度センサー線（熱電対）の一部が温度上昇します。そのためにセンサーの寿命が問題になる可能性はあります。 　 この機種のセンサーには可能な限り太いＫ熱電対を使用しておりますが､小型の機種にはφ0.65程度しか使えませんので､ご使用条件(発熱体温度)によってはかなり寿命が短くなります。 　 発熱体を高温で使用される場合には、できれば温度センサーは外部から挿入するか、内蔵センサーの場合はＲ熱電対（オプション）を使っておいた方が安全です。 　 　 使用材料について 　 このヒータには主要材料であるステンレス，石英ガラス，フッ素樹脂，フッ素ゴム以外にも接着や気密を保つ目的でシリコン系の接着剤を使用します。これは特にご指定がなければシリコンＲＴＶを使用します。これに代えて変性シリコン系の接着剤に変えることもできますが、多少耐熱性が劣ります（180℃→120℃）

                        
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  ＣＬＨ−１０シリーズ　

　
　　ＣＬＨ−１０シリーズ　特性

　
                              ＣＬＨ−２９シリーズへ
　
　　ＣＬＨ−１５シリーズ 

                        
                              ＣＬＨ−３８シリーズへ
　
　
   ＣＬＨ−２９シリーズ 

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CLH（N）38シリーズ

CLH38シリーズに新構造のCLH(N)タイプを加えました。

接着剤を使わない構造です。溶接とOリングで高度な気密と耐圧を得ています。 従来のCLHシリーズはシリコン系のRTVゴムを使用していましたが、このCLH（N）シリーズはシリコン系材料を接ガス部には一切使用しておりません。 加熱するエアーや各種ガスに接する部分は耐蝕性金属と石英ガラス、そしてわずかにOリングのみです。Oリングは標準でフッ素ゴムを使っています。 熱風温度測定用熱電対を改良し、測定値を安定化しています。 水の直接加熱が可能なほどの気密性、絶縁性を有しています。水蒸気を含む多くの気体の加熱に有効です。 耐振、耐衝撃性を大幅に高めています。

　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　CLH38シリーズ製造マニュアル
　
                        
                              ＣＬＨ−30×６シリーズへ
　
　
      内管（加熱管）と外管の隙間を大きくして低圧損（1kPa以下）としたヒータ
　
     ＣＬＨ−４５シリーズ 

　
          上図ヒータの特性

　
                           ＣＬＨ−３８×６シリーズへ
　
　
　　　ＣＬＨ−30×６シリーズ 　　　　　　

CLH 100v-100w/10PHの特性　クリックで拡大	CLH 100v-250w/15PHの特性　クリックで拡大
CLH 200v-1.5kw/38PHの特性  クリックで拡大	CLH 220v-3kw/38PHk 特性  クリックで拡大
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CLH440v-3kw/38PHの特性  クリックで拡大	CLH200v-3.5kw/45PH 低圧損型の特性
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　　図面，資料　倉庫

図面資料名	ＧＯ	備考
CLH-38PH 汎用製品図		*公開
CLH-30×6PH 石英内管		*公開
CLH-30×6PH 金属内管		*公開
CLH-30×6PH 金属ケース		*公開
CLH-29シリーズ設計		*oasファイル
CLH-30×6製品図		*oasファイル
CLH-38PH マニュアル		*パスワード必要
CLH-38PH 金属ケース(汎用)		*公開
CLH-38PH 製品図面(汎用)		*公開
CLH-38PH 金属ケース(1.5〜4k)		*公開
CLH-45PH-4kw金属ケース		*公開
CLH200v-4kw/45PH 製品図		*公開
CLH100v-2kw/38PH 製品図		*公開
CLH-10,CLH-15 設計，データ		*oasファイル
CLHシリーズ特性		*oasファイル
CLH38シリーズ設計詳細		*oasファイル
CLH38/3kw/SUS310 設計詳細		*oasファイル
CLH200v-1.5kw 内部加熱管-写真		*パスワード必要
CLH220-1.8k/38PH/(R3/8-R3/4)		*公開
CLH220v-12kw/30×6PH/(R1-R1)		*公開
CLH380v-12kw/30×6PH/(R1-R1)		*公開

熱電対用リード線      Ｋ熱電対用リードはＫの材質が安価なので、Ｋ熱電対そのものの材質で構成しています。しかし�Cのロボットケーブルは耐屈曲性を持たせるためにＮｉ合金の補償導線としています。 　 Ｒ熱電対用は合金の補償導線です。    価格（工賃別） �@￥300/ｍ �A￥600/ｍ �B￥800/ｍ �C￥1500/ｍ 　 　　�@　Ｋ用単線    導体Φ0.2又はφ0.32 ガラス被覆Φ1.5 　　　 　�A　Ｋ用単線    導体Φ0.2又はφ0.32 テフロン被覆Φ1.5 　�B　Ｒ用 ヨリ線    導体Φ0.08×7本 テフロン被覆Φ1.5 耐屈曲性が良好　 　�C　Ｋ用ヨリ線 ロボットケーブル   導体Φ0.1×7本 高強度シリコンΦ3.2 耐屈曲性が優秀 　 　　        　　　　　　Ｆｉｎｔｅｃｈ.ｃｏ.ｊpｐ

推奨するご使用方法   SAH型熱風ヒータはエアー流量のコントロールと、熱風温度のコントロールが必要です。

専用コントローラ　　ＦＣＭ−Ｎ型　　　これ一台でエアーと電気のコントロールをまとめて行いますので、これだけで完結です。 　 　　掲載ページへリンク　 　 　　熱風温度とヒーター出力（％）を指定するだけです 　　かんたん操作で超高安定性です。 　　　　　　　￥129800.　 　 　　　供給電源　　　AC100ｖ〜240ｖ　フリー電圧 　　　供給エアー　　圧力0.3MPa　　清浄なエアー

上記専用コントローラのご使用を強く推奨致しますが、使われない場合は下記の様な方法でコントロールしてください。

ＡＴＨＤ型 　 通常のＳＡＨＤと同じ発熱体のＡＴＨＤタイプ 　 通常のSAHDと同様に超高密度ＨＤコイルを採用し、小さくても大出力で800℃を超える高温熱風が得られます。 　 ＡＴＨＤは完璧な気密性をもち、エアー漏れはゼロです。そのため内部を高真空にもできます。 　 ATHDは1.0MPaという大きな耐圧力も持っています。 　 ATHD型は内部構成材料にシリコーン系の材料は使用しておりません。 　 完成品ＡＴＨヒータ 　Ｌ180タイプ

ＣＡＤ図面(dwg.)　ダウンロード 　 　　　　ＡＴＨシリーズ：ＩＤＳ-ＨＰ用抜粋 　 　　　 ブラウザがGoogle Chromeやfirefox等であれば、そのままクリックでダウンロードできます。しかし他のブラウザ（ＩＥ等）の場合は対象ファイルの上でマウスを右クリックして「対象をファイルに保存」を選び、適当な場所にダウンロードさせてください。そしてファイルの拡張子が.html になっていれば、それを.dwgに書き換えればＣＡＤで読み込めます。 　 他のファイル型式が必要な場合はご相談ください。→ａｓａｄａ＠ｆｉｎｔｅｃｈ.ｃｏ.ｊｐ

                      
                        
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