一般的な排気−ガス入れ工程を図解します。
封入ガスは不活性ガスとハロゲン化合物を予め混合しておいた混合ガス 　　を使う方式です。この方式ではなく両者を別々に入れる方式もあります。 　　�@真空用ＳＶ（ソレノイドバルブ）をＯＮし、ランプ内を真空にする。このとき 　　　ランプ内を加熱し、吸着物質とある程度の吸臓ガスも排気するなどしてラ 　　　ンプ内を高純度化する。その途中で水素を導入し加熱してフィラメントそ 　　　の他を還元して酸化を除去する工程を入れる事が多い。 　　�A次に真空用ＳＶをＯＦＦし、ガス導入ＳＶ�@をＯＦＦしガス導入ＳＶ�AをＯＮ 　　　し、すぐにＯＦＦ　する。これでガス計量タンク内のハロゲン混合ガスが一 　　　定量、ランプ側に流れ込みます。この後、ガス導入ＳＶ�@はＯＮにしておく。 　　�Bランプを液体チッ素で冷却しガスバーナで排気管（石英細管）を焼き切り 　　　完成。 　　　この方法であればハロゲン混合ガスのロスはほとんど無いので、混合ガ 　　　スのベースに高価なクリプトンやキセノンが使用可能になります。 　　　真空ポンプはまず油回転ポンプで常圧（10＾5Pa）から〜1Ｐａ程度まで排気 　　　します。 　　　ハロゲンランプに必要とされる真空度は0.1Pa程度なので、油回転ポンプ 　　　での到達真空度近くまで行くとメカニカルブースタや油拡散ポンプ，ターボ 　　　分子ポンプなどのブースターポンプに切り換えて真空度を上げます 　　　排気管を焼き切るガスバーナは酸素−水素炎の根元混合式ガスバーナ 　　　です。 　　　液体窒素での冷却は、吹きつけ式とか、上図のような容器（バス）に直漬 　　　け方式か、バスからひしゃくでくみ上げて漬ける方式などがあります。吹き 　　　つけはロスが大きく、バスに直漬け方式は最もロスが少ないが，正確な液 　　　面管理が必要。 ひしゃくでの汲み上げ式はバスの液面が多少変動しても 　　　一定の液面までランプを漬ける事ができる。　 　　　ガス計量タンクを使わずにガス導入バルブも１個で済ませる方法もありま 　　　す。ランプ内容積の比較的大きなものはこの方式が可能です。 　　　ただしランプ内容積が小さい品種の場合には、この方式ではハロゲン混合 　　　ガスの配管圧力設定値が低くなりすぎる場合があります。この配管圧力は 　　　少なくともプラス圧力にしておかないと空気の逆流が起こる危険があります 　　　ので、そのような場合には上図のようなガス計量タンクを備えるシステムに 　　　なります。