クリーン加熱用 熱風ヒータ NPHシリーズ |
クリーンな加熱のできるヒータですが、レベル的にはCLHほど完璧では ありません。そのため半導体製造には使えない場合もあり得ますが太陽 電池,液晶パネル製造などには適したレベルです。 CLHタイプはクリーン度が完璧に近い代わりに同電力容量ならばSAH タイプの3倍近い容積サイズとなり、また高価格という欠点がありました。 NPHタイプはこれを解決するためにCLHタイプに近いクリーンさとSAH タイプに近いコンパクトなサイズ,低価格を狙った製品です。 |
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塵やガスの放出を格段に低減させたヒータです。 発熱体は被加熱流体に直接接触します。しかし比較的低 温で絶縁皮膜無しの発熱体を使うため、ほとんど塵(パー ティクル)の発生がありません。ただし水蒸気や腐食性ガ スの加熱には使えません。 発熱体は流体と直接接触するため、非常にコンパクトなが ら効率よく伝熱され、簡単に高温のクリーンエアーが得ら れます。 通常のSAHタイプヒータに比べ圧力損失が半分以下なの で、送風機は5kPa程度の物でも使用可能です。 絶縁物は主に石英ガラス,高純度アルミナで構成していま す。 |
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2kwクラス